SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高达4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

SJ6000激光干涉仪特点优势

精度高

SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

功能广

n 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

n 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

n 可实现对机床回转轴的测量与校准；

n 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

n 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

n 支持手动或自动进行环境补偿。

软件强

n 友好的人机界面；

n 丰富的应用功能模块；

n 向导式的操作流程；

n 简洁化的记录管理；

n 支持中文、英文和俄文界面；

n 支持企业专属模板定制。

标准多

内置13份标准，包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。

SJ6000激光干涉仪主要技术指标

主机

稳频精度：0.05ppm

动态采集频率：50 kHz

预热时间：≤ 6分钟

工作温度范围：(0~40)℃

存储温度范围：(-20~70)℃

环境湿度：(0~95)%RH

环境补偿单元

空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空气湿度传感器：±5%RH (0~95)%RH

大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa

线性测量

测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)

测量精度：0.5ppm (0~40)℃

测量分辨力：1nm

测量*大速度：4m/s

角度测量

轴向量程：(0~15)m

测量范围：±10°

测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

测量分辨力：0.1″

平面度测量

轴向量程：(0~15)m

测量范围：±1.5mm

测量精度：±(0.2%R+0.02M²)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)

基板尺寸：180mm可调，360mm可调

测量分辨力：0.1μm

直线度测量

垂直度测量

自动精密转台

型号：WR50

角度测量范围：(0~360)°

测量精度：±1″

分辨力：0.1″

*高转速：10rpm

*高跟踪速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直径：112mm

通信方式：蓝牙传输

供电方式：锂电池

正交触发盒

信号输入：差分TTL(RS422)正交编码信号、10μApp微电流信号

输出形式：10μs脉冲

触发延时：0.1μs

供电电源：12VDC

尺寸重量与供电

便携箱尺寸：613mm×460mm×230mm

标准配置重量：18kg

供电电源：(100~240)VAC

安全要求

激光的安全等级达到Class I要求