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美国康宁Corning Tropel Flatmaster 100平面度仪
美国Flat Master系列平面度测量系统/平面度仪/平整度仪/平坦度仪基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识, 上美国康宁CORNING平面度测量仪品牌创造并生产出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科学领域产品的关键组成部分。美国康宁Corning Tropel Flatmaster 100平面度仪也称为平面度测量仪、平整度仪、平坦度仪等,为精密部件的制造商提供了业界 的平面度及表面形态测量。通过非接触式光学测量技术能在很短 的时间内记录下整个表面的数据。Flatmaster 100平面度仪提供了五种纳米级的解析度和高达50纳米的标准精度,能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行精密测量。
一、技术特点及应用领域:
无接触和无损伤测量
适用多种类型材料:半导体,金属,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
适用多种类型晶片:硅/蓝宝石/碳化硅/ /石英/锗/铌酸锂
适用多种类型表面:研磨表面,抛光面,超光滑面
二、可测量技术参数:
Tropel Flat master 100平面度仪/平坦度仪/平整度仪可测量多种不同指标:
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
完整的分析系统:
三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
超过15年的工业应用,全球几百台的装机量
三、技术参数:
精确度:50nm (2.0μ″)
重复性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
分辨率:5nm (0.2μ″)
可测量工件尺寸:5mm-100mm(更小工件也可提供)
动态测量范围:>50um
测量数据点:230,000百万 / measurement
测量时间:5秒
电源:220V 50Hz
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