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FTM107-A膜厚监控仪
一.FTM107-A膜厚监控仪应用范围:
FTM107-A膜厚监控仪适用于普通蒸发、磁控溅射、离子镀等真空镀膜厚度测量,通过触摸屏和数码管显示,使您能获取完整的沉积数据,包括速率、厚度、镀膜曲线和镀膜时间。
FTM107-A膜厚监控仪采用触摸屏技术,控制和显示均通过触摸屏实现;同时配有数码管显示实时速率和厚度,以适应习惯数码管显示的技术人员。到达设置厚度,自动关闭挡板或蒸发源。采用先进的软件和硬件设备,进一步提高仪器抗干扰能力。
二、FTM107-A膜厚监控仪技术特点:
1.全触摸屏操作显示,简单易用;
2.精确显示薄膜厚度,可控制二个挡板/蒸发源;
3.监控镀膜层数达到99层;
4.提供RS232/RS485接口。
三、FTM107-A膜厚监控仪技术参数:
FTM107-A监控仪 | |
晶振频率 | 6MHz(可选2.5M 3M 5M 9M晶体) |
显示方式 | 5”彩色触屏+数码管显示速率和实厚 |
操作方式 | 触摸屏 |
厚度范围 | 0-99μ9999Å |
厚度显示分辨率 | 1Å |
速率范围 | 0-999.9Å |
速率显示分辨率 | 0.1Å/s |
镀膜层数 | 99层 |
探头数量 | 4个 |
工具因子 | 0.01-99.99 |
材料存储 | 257+自定义10种 |
通 讯 | RS232/RS485 |
挡板/源控制 | 2组触点,到达厚度关挡板/蒸发源 |
镀膜显示 | 速率曲线/数值 |
镀膜巡回次数 | 99次 |
机箱尺寸 | 480×280×89mm(2U 19”机箱) |
四.特殊功能:
(1)具有人工停止镀膜功能
(2)可显示镀膜层、材料和使用晶体振荡频率百分比
(3)显示镀膜结束后的监测实厚、材料和层次
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