产品型号

VTC-200PV

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有进出水口

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：不需要

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、设有12组程序，每组包含6个运行阶段。

2、真空吸附方式固定样件，操作简便。

3、真空度可以达到-0.08MPa。

4、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。

5、根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。

6、电机启动快速稳定，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。

7、本机可置于手套箱内使用，但控制部分与真空泵需置于箱外。

8、可在惰性气体气氛下图层

9、可在真空状态下图层，在此状态下图层，需要粘接基片或夹持基片方可实现

技术参数

1、功率：350W

2、转速：500rpm-6000rpm

3、时间：1s-60s

4、腔体真空度可达1Torr（VRD-16机械泵连续工作）

产品规格

尺寸：Ø250mm×290mm；重量：25kg

标准配件

1

真空吸盘

1个

2

夹持吸盘

1个

3

无油真空泵

1台

可选配件

VRD-16机械泵