氦质谱检漏系统采用PLC控制，先对被检工件抽空到设定的真空度，然后切换到检漏状态，对工件喷氦检漏，用检漏仪检测工件的漏率。整个系统确保检测精度高、检测效率高、长期可靠、安全使用。真空压力变化、漏率变化等都可以在触摸屏上显示，阀门等能通过触摸屏操作。

本装置包括氦质谱检漏仪及多工位真空排气两大部分。真空排气作为整个检漏系统的预抽真空泵组，系统通过真空阀门切换进行分时抽空检测。从而实现缩短检测周期，提高设备使用效率。