低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成 或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强潜在优势的高新技术，等离子体受到了国内外相关学科界的高度关注。等离子废气净化器采用了独特的吸附-分解-碳化 离心式抽风安装 新工艺技术设计，采用标准模块设计等优点，是一种干法处理有机废气的净化设备。它改变了使用活性碳材料的工艺技术，无需再生处理原料，无需专人负责，不产生二次污染，更换及维护保养方便

。