一.BEST-351高温四探针电阻率测试系统概述：

采用四探针双电组合测量方法测试方阻和电阻率系统与高温箱结合

配置高温四探针测试探针治具与PC软件对数据的处理和测量控制，

解决半导体材料的电导率对温度变化测量要求，软件实时绘制出温

度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线图谱，及过程数据值的

报表分析.

二.适用行业：:

用于：企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料

、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻

以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜等新材料方块电阻、电

阻率和电导率数据.

双电测四探针仪是运用直线四探针双位测量。设计参照单晶硅物理

测试方法并参考美国 A.S.T.M 标准。

三.型号及参数：

规格型号 FT-351A FT-351B FT-351C

方块电阻范围 10-5～2×105Ω 10-6～2×105Ω 10-4～

1×107Ω

电阻率范围 10-6～2×106Ω-cm 10-7～2×106Ω-cm

10-5～2×108Ω-cm

测试电流范围 0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA 10mA?---

200pA

电流精度 ±0.1%读数 ±0.1读数 ±2%

电阻精度 ≤0.3% ≤0.3% ≤10%

PC软件界面 显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、

温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率

测试方式 双电测量

四探针仪工作电源 AC 220V±10%.50Hz  <30W 

误差 ≤3%（标准样片结果 ≤15%

温度(选购)

常温 --400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃

；1600℃

气氛保护（气体客户自备） 常用气体如下：氦(He)、氖

(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均为无色、无臭、气态

的单原子分子

温度精度 冲温值：≤1-3℃；控温精度：±1°C

升温速度： 常温开始400℃--800℃需要15分钟；800℃-1200

℃需要30分钟；1400℃-1600℃需要250分钟—300分钟

高温材料 采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不

掉粉的特征

PC软件

测试PC软件一套，USB通讯接口，软件界面同步显示、分

析、保存和打印数据！ 

电极材料 钨电极或钼电极 

探针间距 

直线型探针，探针中心间距：4mm；样品要求大于13mm直

径

标配外（选购）：

电脑和打印机1套；2.标准电阻1-5个

高温电源：

供电：400-1200℃ 电源220V，功率4KW；380V;1400℃-

1600℃电源380V；功率9KW：

配套方案：解决各材料状态 --固态、液态、气态、颗粒状 电阻、

电阻率、电导率测量