碳化硅悬臂桨，也称为碳化硅棒反应烧结碳化硅悬臂浆料，是半导体晶片装载系统的关键部件。悬臂浆料性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆加载力大，适用于机器人自动加载和搬运系统;

　　碳化硅悬臂桨的设计特点：

　　1、在高温环境下不变形，晶片装载力大;

　　2、耐极冷急热，使用寿命长;

　　3、悬臂浆热膨胀系数极小，极大地延长了维护清洗的周期;

　　4、碳化硅悬臂桨大幅减少污染物;