碳化硅悬臂浆，是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅悬臂桨桨，主要规格2378毫米，2550毫米，2660毫米等

碳化硅悬臂桨主要应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的（扩散）涂层过程中，对硅片在高温环境中（1000---1300℃）的承载输送作用。