等离子区工作原理：

1.介质阻挡放电产生电子能量高，低温等离子体密度大，可达到常用等离子技术（电晕放电）的1500倍，几乎可以击碎所有有机废气的分子链；

2.技术反应速度快，气体通过反应区的流速达到3—15米/秒，也可以达到处理效果；

3.自动化程度高，设备启动、停止十分迅速，随用随开，对于部分不连续产生废气的收集点，可以循环启动停止解决成本；

去除污染物的基本过程：

过程一：产生高能电子，羟基，臭氧及氧原子；

过程二：高能电子轰击污染分子；

过程三：自由氧、羟基自由基氧化污染物分子；

过程四：活性基团及分子碎片反应。

该装置采用五级净化方式，装置的工艺流程如下图所示。