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介绍
VMM测量显微镜系列是观察、测量和处理系统化的显微镜阵容。
特点
● 视场宽阔，可得清晰无闪烁正像
● 高精度测量，同时具有大测量范围和高精度，适用于各种测量
● 可选用高NA物镜，满足长工作距离的测量要求
● 照明装置（反射/透射）可选用高亮度LED的照明或卤素照明
● 利用可变孔径光阑进行无衍射观察测量
● 各类尺寸的标准工作台
● 快速释放装置便于测量工件大或测量工件数量多的快速移动工作台
● 高位目镜观察
● 便捷CCD图像成像，可选配多种CCD数码相机
偏光观察 微分干涉对比观察
暗视场观察 亮视场观察
新功能增强Z轴测量精度
● 辅助对焦（FA）
新近研发的分光棱镜辅助对焦（FA）提供更锐利的图案，可在Z轴测量期间提供精确对焦。由于不同物镜焦深差异导致的测量误差被降到 低。
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对焦 | 前端对焦 | 后端对焦 |
规格
● 无限远系统，管镜200mm
● 倾斜角度30°，瞳孔距离55-75mm，正像
● 高眼点，大视场WF10/22
● 鼻轮螺纹M26X0.706
● Z轴的长度180mm，微动精度0.002mm，测量精度（at20℃），XY-轴的（2.5+0.02L）um，L=测量长度（mm）在没有放物体分辨率为0.001mm
● 12V50W反射卤素灯
● 3W高亮度LED光源
● 可配置辅助调焦装置（FA）
型号 | VMM-8Ⅰ型 | VMM-8Ⅱ型 | VMM-8 Ⅲ型 | VMM-8 Ⅳ型 | VMM-12Ⅰ型 | VMM-12Ⅱ型 | VMM-12Ⅲ型 | VMM-12 Ⅳ型 | |
镜筒 | 1×光学管径，双目目镜，带有CCD1/2靶面接口 | ||||||||
观察图像 | 正像 | ||||||||
观测方法 | 辅助对焦系统 | - | - | 头部或照明器FA系统 | 头部或照明器FA系统 | - | - | 头部或照明器FA系统 | 头部或照明器FA系统 |
微分干涉对比 | 可选微分观测对比 | ||||||||
目镜 | 10X(视场直径：25mm)，可选十字分划板，可选：视场直径：22mm | ||||||||
物镜(100x选配) | 95mm 2x, 5x,10x, | 60mm 5x, 10x,20x, | 95mm 2x, | 60mm 5x, 10x,20x, | 95mm 2x, 5x,10x, | 60mm 5x, 10x,20x, | 95mm 2x, 5x,10x, | 60mm 5x, 10x,20x, | |
照明装置 | 反射照明 | 内置孔径光阑，LED光源，无极亮度调节，可选卤素照明 | |||||||
透射照明 | 白色LED照明，无极亮度调节 | ||||||||
工作台 | XY测量范围 | 200*100 | 200*100 | 200*100 | 200*100 | 300*200 | 300*200 | 300*200 | 300*200 |
快速释放装置 | X轴和Y轴（标配） | ||||||||
调零开关 | X轴和Y轴（标配） | ||||||||
数显计器 | 显示轴 | 2轴或3轴 | |||||||
分辩率 | 0.0005mm（可选0.00002mm） | ||||||||
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