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在有色金属的“朋友圈”里，铟锡的氧化物是实现电学传导和光学透明的

组合。作为有色金属氧化物，简称为ITO的氧化铟锡在平板上具有很好的导电性和透明性。

一、什么是ITO靶材

二、ITO靶材优点及用途

三、ITO靶材成型的四种方法

四、ITO靶材发展的趋势

一、什么是ITO靶材

什么是ITO靶材?外行看热闹，内行看门道，不了解的人可能就觉得靶材是个稀有名词，或者是比较高端的产品，其实并不是，ITO靶材外形很像瓷砖，却远比瓷砖煅烧复杂得多，是由氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结(1700度，通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体。通常靶材尺寸越大，溅射到平板上的拼缝就越少，价值也越高。　

ITO靶材在薄膜状时，它是略显茶色的透明物质；在块状时，呈黄偏灰色。但它并不是像油漆一样被刷到平板玻璃上使用，而是先被制作成标准尺寸的固体靶材，由操纵磁控溅射的“喷手”，不断“射击”，将其气化溅镀到玻璃基板或柔性有机薄膜上，形成一层ITO膜。这层膜的厚度因功能需求而有不同，一般在30纳米至200纳米。

二、ITO靶材优点及用途

ITO靶材的优点 

ITO靶材有极高的性能优势，而且有比较高的耐热冲击性，在使用中不会对设备造成损坏，同时它的纯度特别的高。目前，市场中很多电子产品都用到了平面显示器，液晶电脑、液晶电视进入到了千家万户，液晶的产品不管是在外观上还是在质地上都是比较高的，而且能够降低耗能。

ITO靶材的用途  

ITO靶材被广泛应用于各大行业之中，其主要应用分为：平板显示器(FPD)产业，如薄膜晶体管显示器(TFT-LCD)、液晶显示器(LCD)、电激发光显示器(EL)、电致有机发光平面显示器(OELD)、场发射显示器(FED)、等离子显示器(PDP)等;光伏产业，如薄膜太阳能电池;功能性玻璃，如红外线反射玻璃、抗紫外线玻璃如幕墙玻璃、汽车、飞机上的防雾挡风玻璃、光罩和玻璃型磁盘等三大领域。但主要应用于还是在平板显示器中，它是溅射ITO导电薄膜的主要原料，没有它的存在，诸多的材料将无法实现正常加工以及设计。ITO薄膜由于对可见光透明和导电性良好的特性，还被广泛应用于液晶显示玻璃、幕墙玻璃和飞机、汽车上的防雾挡风玻璃等。

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韶关金源金属材料公司。

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