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Aerotech QNP系列压电纳米定位平台

价格
¥7999.00
起订量 1台
可售 1000台
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产品参数
加工定制
品牌
Aerotech
型号
QNP系列
产品认证
CE
适用电机
纳米平台
图文介绍

Aerotech QNP系列压电纳米定位平台

关键词:纳米定位平台/压电平台/压电纳米定位台



QNP系列压电纳米定位平台以紧凑,高刚度的封装提供纳米级的性能。多种行程(100μm至600μm)和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准的应用的理想解决方案。

紧凑包装中的高质量

QNP压电平台受挠曲的指导,该挠曲使用有限元分析进行了优化,以确保高刚度和较长的设备寿命。终的设计提供了刚度和谐振频率,从而实现了高处理量和快速的闭环响应。此外,集成的XY封装程度地减少了平台堆叠高度和移动质量,从而实现了静态和动态多轴性能。

高分辨率和定位精度

所有QNP压电级均采用的电容传感器设计,提供闭环反馈选项,可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位滑架的输出,从而实现精度和可重复性。

超控制

与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时,QNP压电纳米定位台具有亚纳米级的定位分辨率和就位稳定性(抖动)以及高定位带宽。

QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈(开环)。对于需要紧凑的尺寸,高动态特性和亚纳米级定位分辨率,但又不需要定位精度和可重复性的应用,开环提供了一种经济 的选择。在通过外部反馈源(干涉仪,视觉系统,光电探测器等)控制压电位置的情况下,也可以使用开环设计。

可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。QNP系列还包括-L和-Z级,其中公共行程与转接板一起安装。

所有QNP压电平台均可根据要求提供真空制备版本。

设计特点

  • 行程范围从100μm到600μm

  • 设备寿命长

  • ,无摩擦的挠性导向系统

  • 借助直接计量电容传感器,可实现高达0.007%的出色定位分辨率和线性度

  • 与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性

  • 开环和真空版本



Model

QNP40XY-100

QNP50XY-250

QNP60XY-500

Closed-Loop Travel

100 µm

250 µm

500 µm

Open-Loop Travel, -30 to +150 V(1)

120 µm

300 µm

600 µm

Resolution(2)

Closed-Loop

0.30 nm

0.50 nm

0.90 nm

Open-Loop

0.15 nm

0.20 nm

0.40 nm

Linearity(3,4)

0.01%

0.01%

0.007%

Bidirectional Repeatability(5)

2 nm

2 nm

5 nm

Pitch/Yaw

6 µrad (1.2 arc sec)

6 µrad (1.2 arc sec)

12 µrad (2.5 arc sec)

Stiffness (Direction of Motion)(6)

1.05 N/µm

0.36 N/µm

0.24 N/µm

Unloaded Resonant Frequency(6)

Top Axis

885 Hz

445 Hz

315 Hz

Bottom Axis

635 Hz

295 Hz

200 Hz

Resonant Frequency

(50 gram load)(6)

Top Axis

495 Hz

305 Hz

240 Hz

Bottom Axis

335 Hz

240 Hz

170 Hz

Maximum Acceleration

(Unloaded)(7)

Top Axis

600 m/s2

370 m/s2

210 m/s2

Bottom Axis

320 m/s2

160 m/s2

90 m/s2

Moving Mass (Unloaded)

Top Axis

42 g

56 g

98 g

Bottom Axis

79 g

126 g

217 g

Max Payload(8)

1 kg

1 kg

1 kg

Stage Mass

0.11 kg

0.17 kg

0.27 kg

Material

Anodized Aluminum(9)

MTBF (Mean Time Between Failure)

30,000 Hours

 

QNP-Z压电纳米定位平台可提供电容传感器反馈或无反馈(开环)。对于需要紧凑的尺寸,高动态特性和亚纳米级定位分辨率,但又不需要定位精度和可重复性的应用,开环提供了一种经济 的选择。在通过外部反馈源(干涉仪,视觉系统,光电探测器等)控制压电位置的情况下,也可以使用开环设计。

可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。QNP系列还包括-L和-XY位移台,其中公共行程与转接板一起安装。

机械规格1

模型

QNP40Z-100

QNP50Z-250

QNP60Z-500

闭环旅行

100微米

250微米

500微米

开环行程,-30至+150 V (2)

140微米

300微米

600微米

解析度(3)

闭环

0.30海里

0.50海里

0.90海里

开环

0.15纳米

0.20海里

0.40纳米

线性度(4,5)

0.01%

0.01%

0.007%

双向重复能力(6)

1纳米

1纳米

3纳米

俯仰/滚动/偏航

15微弧度(3弧秒)

25微弧度(5弧秒)

39微弧度(8弧秒)

刚度(在运动方向上)(7)

0.96 N /微米

0.40 N /微米

0.42 N /微米

空载谐振频率(7)

1050赫兹

510赫兹

310赫兹

共振频率(50克负载)(7)

620赫兹

340赫兹

260赫兹

加速度(空载)(8)

530 m / s 2

260 m / s 2

220 m / s 2

移动质量

53克

83克

234克

有效载荷(7)

1公斤

0.8公斤

1公斤

舞台质量

0.08公斤

0.13公斤

0.31公斤

材料

阳极氧化铝(10)

MTBF(平均无故障时间)

30,000小时


企业简介
联系信息:
汤一成
联系电话:
18501507605
固定电话:
-
所在区域:
江苏省苏州市苏州市吴中区郭巷街道郭新东路95号北塔楼蓝文化创意大厦807室
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企业法人:
欧玉涛
企业类型:
有限责任公司(自然人投资或控股)
成立日期:
2019-04-12
经营状态:
-
工商注册号:
320594000972276
社会统一信用代码:
91320594MA1Y7XG50D
组织机构代码:
-
注册资金:
1000.000000万人民币
经营范围:
软件技术开发、技术推广服务;基础软件服务;应用软件服务;计算机系统服务;销售计算机、软件及辅助设备、电子产品、机械设备、通讯设备、化工产品(不含危险化学品);工业产品设计;设计、制作、代理、发布国内各类广告;电脑图文设计;组织文化艺术交流活动、经济信息咨询、贸易咨询;摄影服务;会议服务;自营和代理各类商品及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动)
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