1. 工作条件 1.1 电力供应：220V（10%），50Hz，1φ; 380V（10%），50Hz，3φ 1.2 工作温度：15℃-25℃ 1.3 工作湿度：< 60% 2. 技术要求 *2.1 离子qiang：潘宁式离子qiang，装载永磁铁，聚焦离子束设计，无耗件。

*2.2减薄角度：+10°到-10°，每只离子qiang可独立调节。 2.3 样品台旋转：样品台可以旋转，转速1~6 rpm可调。 2.4 样品台移动范围：载台可以实现X和Y方向的移动，移动范围：+/- 0.5mm。 *2.5离子qiang束能量：0.1keV~8keV。可在不同电压下自动优化离子束束流。电流密度可达10mA/cm2. 2.6 离子束调制：可以进行角度选择性区域离子减薄减薄 2.7样品更换：快速样品更换时间<1min，无需破减薄室真空 *2.8样品台：DouPost样品台以及装样器，方便快速更换样品以及实现双面减薄。 2.9 真空系统：无油机械泵+80L/S抽气速度分子泵系统。 2.10 所需气体：氩气，操作压力25psi，无需水冷 *2.11 控制部分：10英寸触摸屏控制，菜单化操作，并支持减薄程序的设定和储存。 备注：其中，带*的指标为重要的满足的技术指标