激光干涉仪精度测量，如回转轴精度测量，需要转台附件（XR20-W）配合使用，此外还需要使用角度干涉镜。如果使用的是有线转台附件（RX10），则还需要使用角度反射镜。

中图仪器研发生产的SJ6000激光干涉仪测量分辨率可达0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要由SJ6000激光干涉仪主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000回转轴测量软件构成。

全套系统

SJ6000激光干涉仪是一个交流测试系统，当激光光束强度受环境影响发生变化时，其频率不会受光强变化影响发生变化，也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此，它的干扰能力强，精度高，测量结果可靠，在精度要求极高的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。

技术指标

应用示例

以往中国市场的激光干涉仪都是国外的品牌占据大部分市场份额，因为价格昂贵，让很多国内企业望而却步。中图仪器一直以实现高精密仪器自主化为己任，以”改变精密仪器依赖进口的局面，为中国制造的产业升级提供高端装备“为使命，在几何量测量领域潜心研究了十几年，推出激光干涉仪精度的、在测量精度、测量速度、测量类型等方面选择上，给用户提供了更多选择。