螺杆干式真空泵由三大部分组成：驱动部分、传动部分、工作部分。驱动部分由高性能三相异步电机作为驱动。

传动部分：传动部分多个高精密同步齿轮，包括电机驱动齿轮、介轮以及连接转子轴的一对同步时限齿轮，将电机产生的动力传送给工作部分；传动齿轮全部采用浸油润滑，同时在传动箱底部设有强制润滑油泵，对各轴承进行强制润滑，极大延长轴承的维护周期。

工作部分：由进排气泵盖及泵壳组成一个密闭的泵腔，腔体内部由一对平行的阴阳转子相互啮合，通过转子轴两端轴承固定悬浮在密闭的泵腔内，阴阳转子齿面间、转子于泵腔都留有微小的间隙，转子在泵腔内旋转没有任何的摩擦，也不需要润滑。转子轴两端采用特殊定制的组合式密封，可在各种苛刻工艺保证无泄漏。在密闭的泵腔内组成一个完整的水冷夹套冷却系统，对泵腔、排气端、密封进行冷却降温，将气体压缩热量及轴承密封摩擦热量及时带走。从而保证进排气温升平缓，提高生产安全性，同时大大延长轴承及密封的使用寿命。

螺杆干式真空泵工作原理：

当驱动部分电机启动时，通过传动部分介轮将动力传送给一对同步时限齿轮，由同步时限齿轮带动一对啮合螺杆转子做同步反方向高速旋转，通过螺杆转子与泵腔间容积变化进行连续吸排气做功，如图气体由上侧进入，在泵腔内压缩，由螺杆转子下端排入冷凝缓冲区，压缩冷凝液体进入排液管，不凝气体通过该排气口排出，螺杆转子旋转一周期完成一次吸排气过程。

螺杆式干式真空泵是一种工作容积作回转运动的容积式机械真空泵。借助于腔体内的一对相互啮合的螺杆转子做同步反方向高速旋转，通过螺杆转子与泵腔的容积变化进行连续的吸排气做功，气体从入口处进入，在腔体内压缩，在螺杆转子的末端排出，螺杆转子旋转一个周期完成一次吸排气做功。

螺杆式真空泵的抽气过程分吸气、压缩、排气等三个过程。随着阴阳转子做同步反方向旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环。

卧式螺杆干式真空泵系列GLWZ：

卧式系列GLWZ螺杆真空泵适用于小于等于300L/S抽速，极限真空大于2Pa的真空获得环境，广泛应用于石油化工、制药、食品、医药中间体、精细化工、农药、光伏电子、环境保护等行业的各种工艺。本系列真空泵能抽出气体介质。

本系列真空泵采用卧式直连，气体行程短而且简单，利于气体排出，泵体与电机采用直连形式，结构简单便于拆卸，设备震动小噪声低。过流部件进行特殊涂层加工，可用于抽出有毒有害、腐蚀性气体。特别适用于高真空抽气量的工况。

应用：

参数表：