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特点
*测量范围宽:1×103 ~1.6×1016Ω
*测试夹具稳定:比电阻盒,元件测试夹具
*测量速度高:10ms
*按测试顺序编程
*计算电阻率
*被测器件可接地测量
规格
测量参数:R(直流电阻),I(直流电流),ps(表面电阻率),pv(体电阻率)
数学功能:偏差和百分偏差
显示数字:3,4或5位(可选择)
测试电压:0.1 ~ 1000Vdc
0.1 ~ 200Vdc时,以0.1V步进
0.1 ~ 1000Vdc时,以1V步进
电压精度:≤200V时为0.16%+100mV
>200V时为0.16%+500mV
大电流:≤100V时为10mA;≤250V时为5mA
≤500V时为2mA;≤1000V时为1mA
电流相容性调定:0.5mA,1mA,2mA,5mA,10mA
输出电阻:1KΩ±10%
输入电阻:1KΩ±10%
测试电缆长度:2 m (大值)
测量范围和精度:
直流电流:60fA~100uA 基本精度:±0.4%
直流电阻:1×103 ~1.6×1016Ω 基本精度:±0.6%
测量时间:短:10ms;中:30ms;长:390ms
修正功能:
开路误差为0:消除由测试夹具中杂散寄生电阻引起的测量误差
测试序列程序:控制一系列电阻测量。充电时间、测量间隔时间和测量次数可以编程。
比较功能:对测量参数设立高/符合/低界限
接触检查功能:
1、 可以检测测试夹具与器件之间的接触故障
2、 可提供的被测器件(DUT)类型
其它功能:
1、 存储/调用:可以由内部非易失存储对10种仪器设置进进存储/调用
2、 连续存储功能:若仪器被切断或发生电源故障,仪器设置将自动被存储起来
3、 GPIB接口:所有控制设置,被测值和比较器信息
一般指标
电源要求:90 ~ 132V或198 ~ 264V,47 ~ 66Hz,45VAmax
工作温度:0℃ ~ 45℃
尺寸:320(宽)×100(高) ×450(长)mm
重量:6.5kg
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