SuperViewW1白光干涉仪大视野分辨率0.1μm，重复性0.1%，可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。可以用于测试各类表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于测试直至100的反射率的各类高反表面。

特点

一是非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件；

二是测量速度快，不必像探头逐点进行测量；

三是不必作探头半径补正，光点位置就是工件表面测量的位置；

四是对高深宽比的沟槽结构，可以快速而准确的得到理想的测量结果。

SuperViewW1白光干涉仪大视野采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件，采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收，其中台阶高标准片高度在4.7um左右，测量精度要求为<0.75%，重复精度要求<0.1%（1σ）（测量15次获取的数据标准差），主要用于对样品表面的2D、3D形貌进行测量，主要测量参数为粗糙度、台阶高、几何轮廓等。

自动拼接功能的使用，即不管是在光滑还是粗糙、平面亦或是异形结构，当必须测量超出适配镜头下的单视场区域时，都可以采用自动拼接，而中图仪器SuperView W1白光干涉仪大视野检测，可根据不同表面特点进行重建算法的切换，无论何种形貌，都可生成“天衣无缝”的3D全景。