等离子体清洗机用于湿法蚀刻前的晶圆清洗、表面预处理工艺简单.操作方便.没有废物处理.没有环境污染等问题。

等离子清洗机是一种新型的低成本、高性能、实验性远程射频等离子去胶系统，手动装载晶圆片，应用于单片晶圆光刻胶灰化、残胶去除及表面清洗工艺，可满足小型晶圆厂、大学实验室、初创公司的使用需求。等离子清洗机设备采用触摸屏+PLC全自动控制，凭借其时尚、紧凑的设计，只需占用很小的洁净室空间，使用维护简单方便。

等离子清洗机去胶设备特点：

可处理8寸晶圆 ø203 mm，也可兼容处理3寸、4寸和6寸晶圆

12寸触摸屏+PLC全自动控制，具有手动和自动两种模式

PID自动真空压力控制，可精确控制过程压力(±1pa)，不受气体流量的影响

独特工艺气体分配喷淋结构，使进气更均匀，去胶均匀度≤5%

水冷放电电极，去胶过程工艺可控(可选择加热功能)

等离子清洗机去胶设备应用于光刻胶灰化、剥离和残胶去除

· 湿法蚀刻前的晶圆清洗、表面预处理

· 晶圆应力释放

· Si、SiO2、SiN、Poly-Si、GaAs、Pt、聚酰亚胺等各种材料的蚀刻（可选配）

等离子清洗机能增加材料表面张力和附着力，如在塑料、橡胶、硅胶行业，可显著提高表面附着力。

等离子预处理是采用等离子表面处理机在AF、AS、AG、AR镀膜（喷涂）工艺前，对基材表面进行精细化清洗、蚀刻和活化，可以得到非常薄的高张力涂层表面，有利于喷涂药水的附着牢固和厚薄均匀。

等离子清洗机 / 等离子刻蚀机 / 等离子处理机 / 等离子去胶机 / 等离子表面处理机

等离子清洗机有几种称谓，英文叫（Plasma Cleaner）又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机，等离子表面处理机,电浆清洗机，plasma清洗机，等离子去胶机，等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。等离子清洗机能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

等离子体清洗机在处理晶圆表面光刻胶能够去除表面光刻胶和其余有机物，也可以通过等离子清洗机的活化和粗化作用，对晶圆表面进行处理，能有效提高其表面浸润性。相比于传统的湿式化学方法，等离子体清洗机干式处理的可控性更强，一致性更好，并且对基体没有损害。