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产品参数
加工定制
是
品牌
郑科探
型号
KT-PE150S
产品规格
台
外形尺寸
详询
重量
详询
产品用途
科教实验
图文介绍
PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体，辉光放电等离子体中：电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍，使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电，有效地利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点，工艺流程简单，与传统CVD系统比较，生长温度更低，管辉光均匀等效，薄膜均匀沉积。
KT-PE150S 性能参数
型号 | KT-PE150S | KT-PE500Z |
信号频率 | 13.56MHz±0.005% | |
功率输出范围 | 0-150W | 0-500W |
功率稳定度 | ≤5W | |
反射功率 | 40W | |
射频输出接口 | 7/16,female 50 Ω | |
功率稳定度 | ≤5W | |
匹配方式 | 手动调节匹配 | 500W自动匹配 |
耦合方式 | 电感式耦合 | |
辉光压力 | ≤30Pa | |
供电电压 | 50/60Hz 220v±10% | |
整机效率 | ≥70% | |
冷却方式 | 强制风冷 | |
支持炉管直径 | φ25-φ80 | φ25-φ150 |
感应区 | 210mm | |
整机重量 | 48KG | |
整机尺寸:H x W x D(mm) | 600 x 600x 1100 | |
企业简介
企业法人：
宋风宽
企业类型：
有限责任公司(自然人独资)
成立日期：
2017-06-15
经营状态：
-
工商注册号：
410199000204879
社会统一信用代码：
91410100MA442L4G2B
组织机构代码：
-
注册资金：
101.000000万人民币
经营范围：
实验室电炉的安装；实验室设备的研究；智能化控制系统技术服务；软件开发；货物进出口、技术进出口；销售：仪器仪表、电子元件及组件、高低压成套设备、机电设备、五金交电、阀门管件、工业电炉、实验室设备。
企业地址
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15515545802
