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等离子清洗机器 去胶活化 刻蚀设备
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等离子清洗机器沉积涂覆 接枝聚合 去胶设备
¥5900.00
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¥5900.00
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等离子清洗机提高镀膜粘结均匀性 去胶设备
¥5900.00
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等离子清洗机能提高材料表面附着力,亲水性,等离子体表面处机理器清洗设备对材料进行表面处理,等离子清洗机效果是细致的清理和活化。清洗的目地是去除表面静电感应、粉尘和油渍残渣等污染物,通过等离子清洗机的精细处理,可以使材料表面层得到充分的去除,可以去除表面上微小的微粒,即使是在表面孔隙结构中也可以。
晶圆级等离子清洗机应用:湿制程后表面有机残留去除、晶圆表面较小particle去除、晶圆表面较大particle去除及辅助去除、除胶后碳化物及其他有机物去除、晶圆级封装前表面清洗、晶圆级封装前表面活化处理、晶圆表面微钝化处理等。
真空等离子清洗机, 触摸屏+PLC全自动控制,可进行多步工艺流程处理,采用进口配件, 有手动、自动两种控制模式,真彩触摸屏,进口可编程控制器,可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、气体流量、等离子功率等工艺参数,并具有故障报警、工艺存储、密码锁定、系统维护等多种功能。
可按照客户要求定制等离子处理设备,满足客户的需求;保养维修成本低,便于客户成本控制;
等离子清洗设备的处理是一个干躁的过程。运用电能催化反应,可提供低温工作环境,避免使用危险的湿式化学清洗物质。等离子清洗机是属于安全、靠谱、环保的,简易地说等离子体清洗机融合了等离子体物理、化学和固态表面反应,能合理有效地消除材料表层的残留污染物,确保材料表层和本身特性不受影响。
等离子清洗机适用于材料表面清洗、活化、沉积、去胶、刻蚀、接枝聚合、疏水、亲水、金属还原、去除有机物、镀膜前处理、器械消毒等等
等离子清洗机用于晶圆级封装前表面预处理、晶圆级键合前表面活化、光刻胶涂覆前表面活化、晶圆表面较小particle去除、表面有机残留去除等。
等离子清洗机可兼容多尺寸晶圆、可实现多反应腔室定制、独特的CCP等离子体源设计、高洁净反应腔室,整机空间环境particle控制、可选择射频等离子发生器或双频等离子发生器、等离子体密度高、均匀性好、可升级超洁净反应腔室系统。
为何选择我们生产的等离子清洗机?
专注研发、制造、生产各种规格等离子清洗机20多年,合作企业涵盖半导体、电子、光电、纺织、塑胶、汽车、塑胶、生物、医疗、印刷、家电、日用品及环保等众多行业,服务过300+优质客户
免费咨询讲解、免费样品测试处理、免费上门培训安装调试
可根据不同的客户需求提供一对一定制化设备解决方案,欢迎来厂考察
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