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产品参数
加工定制
否
型号
GP-T-2
制作工艺
集成
输出信号
数字型
图文介绍
SAK高精度硅片测厚仪GP-T-2
SAK,硅片测厚仪,GP-T-2
产品简介
GP-T-2半导体测厚仪结构紧凑,自带集成式工业电脑,采用高精度大量程光谱共焦测头,该测头高精度、高稳定性,且对于不同材质、不同表面产品具有优异的适用性,使得本品在测量硅片厚度、TTV及弯曲度等参数方便快捷,测量准确
技术参数
精度1 | ±0.5µm | |
重复性2 | ±0.25µm | |
分辨率 | 0.1µm | |
测量项目3 | 厚度(Thickness)/平整度(TTV)/弯曲度(Bow) | |
测量范围 | 晶圆直径4 | 50mm - 300mm |
晶圆厚度 | 100µm - 2000µm | |
电压输入(电压): | 220VAC | |
电压输入(频率): | 50 to 60Hz | |
使用温度范围: | 15 to 40ºC | |
尺寸(长x 宽x 高): | 450*550*550mm | |
重量: | 约50Kg | |
环境要求 | 温湿度稳定,环境洁净,无振动 |
1.在 22±2ºC 恒定的温度下
2.在可重复定位的条件下
3.平整度(TTV)及弯曲度(Bow)不作为设备验收指标,厚度验证使用标准厚度样件
4.对应晶圆规格为2寸–12寸
企业简介
企业法人:
卓英杰
企业类型:
有限责任公司(自然人独资)
成立日期:
2007-11-20
经营状态:
-
工商注册号:
440301103000450
社会统一信用代码:
91440300668528788F
组织机构代码:
-
注册资金:
100.000000万人民币
经营范围:
一般经营项目是:五金交电、电子产品、电子元器件、仪器仪表、机电设备、机械设备及配件、自行车及配件的批发、上门维修及技术咨询;国内贸易;计算机技术服务与技术咨询;货物及技术进出口。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营),许可经营项目是:
企业地址
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