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显微镜热台 高温探针台 用于观察高温样品结晶过程 和热电阻测试 光学测试 高温真空探针台 主要应用于半导体 材料科学 纳米技术 光电子 薄膜技术等领域
半导体器件测试与表征.
1.材料性能表征
2.薄膜与界面性能研究
3.功能材料及元器件的研发
4.微电子技术与工艺研究
5.热学性能测试与研究
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显微镜高低温真空腔 真空冷热台
显微镜高低温真空腔是一种用于在显微镜下观察和分析材料表面形貌和特性的设备。它通常由一个高精度的显微镜、一个高低温真空腔和一套控制系统组成。
类型
高低温型 室温到400℃ 室温到-190℃
腔体材质
304不锈钢
腔体内尺寸
约68mmX57mmX22mm
腔体重量
约1.8KG
腔体上视窗尺寸
Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离)
腔体下视窗尺寸
Φ22mm(用于光学底部透光)
腔体抽气口
KF16法兰(其余接口规格可转接)
腔体进气口
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
腔体冷却方式
腔体水冷+上盖气冷
腔体水冷接口
6mm快拧 或 6mm快插
腔体正压
≤0.05MPa
腔体真空度
机械泵≤5Pa (5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟)
显微镜高低温真空腔的主要特点包括高精度、高稳定性、高重复性和高可靠性。它可以在真空环境下对材料表面进行观察和分析,从而避免了空气中的污染和干扰。同时,它还具有高精度的温度控制和气氛控制功能,可以在不同的温度和气氛条件下对材料表面进行观察和分析。
显微镜高低温真空腔的应用范围非常广泛,可以应用于材料科学、物理学、化学、生物学等领域。例如,在材料科学领域中,它可以用于研究金属、陶瓷、半导体等材料的表面形貌和特性;在物理学领域中,它可以用于研究纳米材料、超导材料等表面物理现象;在化学领域中,它可以用于研究催化剂、电极等表面的化学反应过程;在生物学领域中,它可以用于研究细胞、蛋白质等表面的结构和功能。
显微镜高低温真空腔的优点在于它可以提供高精度的表面形貌和特性分析,同时可以避免空气中的污染和干扰。此外,它还具有高稳定性、高重复性和高可靠性,可以保证实验结果的准确性和可靠性。
总之,显微镜高低温真空腔是一种非常有用的设备,可以广泛应用于材料科学、物理学、化学、光学等领域
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